[유해화학물질 안전취급] TMAH의 위험성, 사고사례, 안전취급 가이드

피부에 조금만 닿아도 사망 위험성이 매우 높은 TMAH, 안전 취급 방법
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Jul 11, 2025
[유해화학물질 안전취급] TMAH의 위험성, 사고사례, 안전취급 가이드
 
 
최근 온산국가산업단지에서 발생한 TMAH 노출 사고를 당한 근로자가 결국 사망하였다는 소식에 TMAH의 위험성에 대한 관심이 늘어나고 있습니다.
 
TMAH는 이미 여러건의 사망 사고의 원인이 되었던 물질로 피부에 소량 접촉만으로도 사망에 이를 수 있는 물질입니다.
 
TMAH 의 특성과 사고사례, 사고예방 및 대응 방안에 대해 정리해보았습니다.
 

1. TMAH (수산화테트라메틸암모늄)(CAS # 75-59-2)이란?

  1. 전자 산업(반도체, 디스플레이 등)의 포토 공정에서 주로 사용되는 화학 물질
    1. 출처: 수산화테트라메틸암모늄(TMAH) 취급 근로자의 보건관리지침(안전보건공단)
      출처: 수산화테트라메틸암모늄(TMAH) 취급 근로자의 보건관리지침(안전보건공단)
 
 
 

2. TMAH 노출 사고 사례

  • 2012년 4월: TMAH탱크 세척 후 잔류 TMAH제거 작업 중 작업자 얼굴, 목 노출 -> 병원 후송 후 사망
    • 출처: 수산화테트라미틸암모늄(TMAH) 가이드북, 안전보건공단, 2021.11
      출처: 수산화테트라미틸암모늄(TMAH) 가이드북, 안전보건공단, 2021.11
  • 2011년 12월: 세척제 테스트 중 8.75% TMAH노출, 약 17분 경과 후 샤워 및 병원 후송 -> 사망
    • 출처: 수산화테트라미틸암모늄(TMAH) 가이드북, 안전보건공단, 2021.11
      출처: 수산화테트라미틸암모늄(TMAH) 가이드북, 안전보건공단, 2021.11
  • 2021년 1월: 배관 해체 작업 중 TMAH노출 -> 2명 사망, 4명 부상
    • 출처: 수산화테트라미틸암모늄(TMAH) 가이드북, 안전보건공단, 2021.11
      출처: 수산화테트라미틸암모늄(TMAH) 가이드북, 안전보건공단, 2021.11
  • 2002년 7월: 배관 절단 작업 중 오인으로 TMAH 배관 절단하여 작업자 1명 부상
    • 출처: 수산화테트라미틸암모늄(TMAH) 가이드북, 안전보건공단, 2021.11
      출처: 수산화테트라미틸암모늄(TMAH) 가이드북, 안전보건공단, 2021.11
 
 
 

3. TMAH 는 왜 위험한가?

  1. 급성독성 경구 및 경피, 피부부식성/자극성, 수생환경 유해성 물질로 분류
    1. 낮은 농도에서도 위험(2.83% 노출 시 사망사례 有)
  1. 강염기성 물질로 화학화상을 일으켜 피부에 쉽게 흡수됨
    1. 흡수된 TMAH는 TMA 이온으로 변해 신경전달을 차단하므로 단기간에 호흡곤란심장마비를 일으킴
    2. 피부 접촉 범위가 넓을수록 화상 및 신경계 손상 발생으로 인한 사망위험성 높음
출처: Harzardous Substances Data Bank
출처: Harzardous Substances Data Bank
출처: 수산화테트라메틸암모늄(TMAH)가이드북, 안전보건공단, 2021.11
출처: 수산화테트라메틸암모늄(TMAH)가이드북, 안전보건공단, 2021.11
 
 
 
 

4. TMAH 안전 취급 수칙

  1. 작업 상황에 맞는 보호구 착용 필수
    1. TMAH직접 취급 또는 접촉 위험이 높은 작업(정비, 보수 등) 시 안전보건공단 인증보호구 착용
      1. 내화학 장화 착용
      2. 화학물질용 안전 장갑
      3. 전면형 방독마스크,
      4. 전신 내화학복
  1. 작업 전 TMAH 잔류여부 확인
    1. TMAH에 직접 노출될 수 있는 작업 전 반드시 TMAH배출 여부를 확인하고 작업
  1. 냄새가 거의 나지 않으므로 각별한 주의 필요
    1. 2.38% 이하의TMAH는냄새가거의나지않거나 약한 암모니아 냄새가 남
    2. 피부노출시1~2도화상수준으로 노출을 빠르게 인지하지 못할 수 있음
  1. 노출 시 즉시 탈의 및 세척
    1. TMAH는 강염기성 물질로 화학화상을 일으킴
    2. 피부 흡수가 매우 빠르게 진행되는 급성 중독물질 피부나 눈에 접촉 시 즉시 옷을 벗고 최대한 빨리 물로 세척해야 생존 가능성 증가
출처: 수산화테트라미틸암모늄(TMAH) 가이드북, 안전보건공단, 2021.11
출처: 수산화테트라미틸암모늄(TMAH) 가이드북, 안전보건공단, 2021.11
 
 
참고자료
  • 수산화테트라메틸암모늄(TMAH) 취급 가이드북, 안전보건공단, 2021.11
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